Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Elektronikus Eszközök Tanszéke

BME EET Integrált Intelligens Rendszerek Laboratóriumok

Tanszéki weblapunk átalakítás alatt áll. Kérjük, válasszon az alábbi lehetőségek közül:

Kutatási infrastruktúra bemutatása a tanszéki weblapon (szöveges, képekkel illusztrált, bal oldali menüben laboratóriumokra bontva) >> A tanszéki laboratóriumok régi weblapja

A külső felhasználók részére szolgáló felhasználási szabályzat >> Szabályzat

Tanszékünk weblapja >> Kezdőlap

A kutatási infrastruktúra rövid bemutatása

A BME Elektronikus Eszközök Tanszéke jelenleg az egyetlen olyan egyetemi tanszék Magyarországon, ahol magas szintű kutatás és ehhez szorosan kapcsolódó oktatás folyik az alább felsorolt valamennyi területen: mikroelektronika, félvezető eszközök, mikro és nanotechnológiai eszközök, VLSI elektronika, félvezető érzékelők, LED-ek, napelemek, mikro-elektromechanikus rendszerek és egy tokba zárt intelligens (smart) rendszerek elmélete, tervezése, gyártása és tesztelése. Az informatikai tudományok területén a számítógéppel segített mikro- és nanoelektronikai tervezés és az internet alapú kommunikáció kutatása területén vannak jelentős eredményeink. Célunk, hogy a kutatások eredményeit az oktatásban is megjelenítsük: a friss eredmények azonnal épüljenek be az oktatási anyagokba és minél több fiatal, főként szakirányos és PhD hallgató vegyen részt széleskörű nemzetközi kooperációs kutatási munkáinkban.

Az infrastrukturális hátteret a BME Q épületében 2010-2012-ben újjáépített Termikus és Megbízhatósági Tesztelő, Integrált Intelligens Rendszer Tervező, Chip Alapú Orvosdiagnosztikai Eszközök, valamint Félvezetőtechnológiai Laboratóriumok bizosítják. Laboratóriumeggyüttesünk a magyar felsőoktatásban egyedülálló, és számos nemzetközi oktatási együttműködésben szerepel.

Tanszékünk az elmúlt évtizedben mindig a BME VIK élmezőnyéhez tartozott EU pályázatok elnyerése és a kapcsolódó tudományos publikációk egy főre jutó számában. A hazai felsőoktatásban egyedülálló K+F és oktatási tudásbázisunk, valamint infrastruktúránk lehetővé tette és teszi a high-tech ipar számára értékes munkaerő képzését BSc és MSc szinten is. Tudományos műhelyeinkben a tanszék megalakulás óta kitüntetett szerepet kap a tudományos utánpótlás nevelése (PhD képzés), melynek köszönhetően tanszékünk több mint 55 éve fennáll és folyamatosan megújul, emellett kutatóintézeti paratnereink számára fiatal kutatókat nevel ki. Eredményeink hasznosulását a tanszékből kinőtt két spin-off cég, ipar és kutatóintézetek által elismert termékké vált több mérőrendszer, szabványosítási szervezetekben végzett munkánk és ipari partnereink sora támasztja alá. A jelen és a jövő kihívásaira válaszol az ERASMUS Mundus+ támogatásával indult Smart System Integration nemzetközi joint degree MSc programunk is.

Félvezetőtechnológiai Laboratórium - Tisztatér

Class 1000 (ISO 6) és Class 10000 (ISO 7) tisztatéri laboratórium 2-3 inch-es szilícium szelettechnológiával diódák, MOS áramkörök, érzékelők, újszerű eszközök, mikrofluidika és napelemstruktúrák kialakítására. Rendelkezésre álló technológiai lépések: fotolitográfia (1 um felbontás, kétoldalas illesztés), nedveskémia (tisztítás, izotróp és anizotróp marás), felületkezelés (O2, N2, Ar plazma), magashőmérsékletű folyamatok (oxidáció, adalékdiffúzió, hőkezelés), vákuumgőzölés (Al, Au, Ag, Ni, Ti, Cu), RF porlasztás (Pt, Pd, Ti, V, Ta, Al, Cu, Ag, Mo, Fe, Ni, SnO2, ZnO, Si, SiC, Sn-In, SiO2, Si3N4, Al2O3), centrifugás rétegfelvitel (SiO2, PDMS, SU-8), szitanyomtatás (Al, Ag). A laboratórium továbbá rendelkezik az előállított minták és eszközök minősítésére szolgáló eszközökkel: optikai mikroszkópok, SEM, mechanikus profilométer, terjedési ellenállásmérés, SPV és rezgőkondenzátoros felületi potenciáltérképezés, CV mérés, illetve projektspecifikus, egyedi mérési összeállítások, mint pl. napelemminősítő rendszerek (I-V és SR).

Termikus és Megbízhatósági Tesztelő Laboratórium

Számos nemzetközi és hazai projekt valósult az évek alatt felhalmozott szakértelem és fejlett eszközpark bázisán. A Labor elsősorban különféle félvezető eszközök, mint különféle tokozott IC-k, diszkrét alkatrészek, teljesítményeelktronikai alaktrészek, napelemek, LED-ek, MEMS-ek és egyéb elektronikai alkatrészek, illetve tokozásuk és összeszerelésük termikus és multidomén karakterizációjára szakosodott, beleértve az ilyen tokozások nem destruktív strukturális vizsgálatát is. Az általános műszereken túl, a minősítési eljárásokhoz a legújabb nemzetközi mérési szabványoknak (pl. JEDEC JESD51-14, JEDEC JESD51-51 és 51-52) megfelelő termikus tranziens tesztelést és radiometriai/fotometriai mérések elvégézést lehetővé tevő berendezések, illetve infrakamerás vizsgálatok állnak rendelkezésre. Ez a környezet lehetőséget teremt olyan szerkezetek vizsgálatára is, mint az organikus fénykibocsájtó eszközök vagy a nanorészecskéket tartalmazó termikus határfelületi (TIM) anyagok.

Integrált Intelligens Rendszer Tervező Laboratórium

A legmodernebb ipari tervező CAD-szoftverekkel felszerelt laboratóriumunkban lehetővé válik összetett, nagyintegráltsági fokú, vegyes-jelű integrált áramkörök kapcsolásirajz és fizikai szintű tervezése és az áramkörök működésének pre- és post layout szimulációja. Az infrastruktúrához kapcsolódó kutatási és fejlesztési munka eredményeként megvalósítható az áramkörök multi-doménmodellezése: mind az elektromos, mind a termikus működés együttes vizsgálata eletro-termikus és logi-termikus szimulációk futtatásával. Mindezek mellett az intelligens rendszerek alapját képező érzékelők és beavatkozók (MEMS-eszközök) tervezése, működésének numerikus modellezése és szimulációja is lehetséges modern szimulációs környezetben. Nagybonyolultságú és rádiófrekvenciás nyomtatott huzalozású lemezek tervezését a rendelkezésre álló modern tervező és post-layout szimulációs szoftver teszi lehetővé az RF hullámterjedési tulajdonságok vizsgálatával (reflexió, áthallás stb.).

Chip Alapú Orvosdiagnosztikai Eszközök Laboratórium

Mikrofluidikai eszközök gyártástechnológiája PDMS és SU-8 alapon üveg és szilícium hordozóra, 10 um felbontással. PDMS-üveg, PDMS-szilícium, PDMS-SU-8 heterostruktúrák létrehozása, PDMS membránok készítése. Mikrocsatornába integrált szenzorok létrehozása: elektródák vákuumgőzöléssel és RF porlasztással, hőmérő elemek, fotoérzékelők. Mikrocsatornák felületkezelése oxigén és nitrogén plazmában. Integrált szelepek létrehozása PDMS chipen. Integrált, programozható tesztkörnyezet Micronit Fluidic Connect Pro chipszabványon. Kontrollált áramlások létrehozása (100 nl/sec felbontás) optikai (120 fps) és nyomás érzékelőkkel (10 Pa felbontás) visszacsatolt rendszerben. Egyfázisú, olaj-víz és gáz-víz kétfázisú (droplet) és multifázisú (mágneses nanogyöngy) áramlás létrehozása termikusan stabilizált környezetben. Biofolyadékok alapvető kezeléséhez szükséges eszközök és berendezések (centrifuga, vortex, lamináris box, pipetták, UH kád).

Főbb szolgáltatások

Hozzáférés külső használók számára

A hozzáférés belsőknek (intézményen belül) és projektpartnereknek, indokolt esetben költségek megtérítésével, külsősöknek a BME szabályzatai szerinti megállapodások alapján lehetséges.

Az igénybevétel általános elvei tartalmazzák a kutatások során elvárható etikus viselkedés alapelveit, a személyek és vagyoni tárgyak biztonságára vonatkozó alapelveket, a kutatási és oktatási tevékenységek lehatárolását, és az ezen tevékenységekre vonatkozó irányelveket, a megbízási szerződés alapján végzett (nem projektpartnerként, vagy szélesebb együttműködési megállapodás keretében végzett) kutatási, fejlesztési és oktatási szolgáltatások díjszabásának alapelveit.

Kapcsolatfelvétel

Központi cím:
BME EET
1117 Budapest, Magyar tudósok körútja 2. Q épület, B szárny, III. emelet
E-mail: adm AT eet bme hu
Telefon: +36 1 4632702
Fax: +36 1 4632973

NEKIFUT kapcsolattartó:
Juhász László, e-mail: juhasz AT eet bme hu, tel.: +36 1 4632796

Félvezetőtechnológiai Laboratórium - Tisztatér:
Juhász László, e-mail: juhasz AT eet bme hu, tel.: +36 1 4632796

Termikus és Megbízhatósági Tesztelő Laboratórium:
Poppe András, e-mail: poppe AT eet bme hu, tel.: +36 1 4632702

Integrált Intelligens Rendszer Tervező Laboratórium:
Bognár György, e-mail: bognar AT eet bme hu, tel.: +36 1 4632714

Chip Alapú Orvosdiagnosztikai Eszközök Laboratórium:
Ender Ferenc, e-mail: ender AT eet bme hu, tel.: +36 1 4633072