Nanoelektronika
A széles értelemben vett nanoelektronikai áramkörök
alapvetően ma még a mikroelektronikai áramkörök méretcsökkenésével
jönnek létre, alapvetően CMOS-típusúak
és szilíciumalapúak, a dielektrikumot illetően széleskörű keresés
folyik, hogy a SiO2 3,9-es dielektromos állandójánál kisebb értékkel
rendelkező anyagot találjanak, amely illeszkedik a fémezéshez is, ahol a
fémezés terén is le kell cserélni a jól bevált alumínium fémezést, ezt
rézzel, illetve rézalapú ötvözetekkel helyettesítik, azaz az
epitaxiális szilícium alapanyagként megmaradni látszik, de lényeges a
szűkebb értelemben vett kvantumhatásokon alapuló, és leggyakrabban a
nanoelektronika másik nyersanyagaként számon tartott nanocső, ebből
lényegében mindenki az egyfalú szén nanocsövet részesíti előnyben,
amelynek felhasználásával az elemi áramkör-készlet megvalósítható.
1. Témakör
A nanoelektronika fogalmát széles körűen
értelmezzük, azaz beleértjük a mikroelektronikai áramkörök
méretcsökkenése révén létrejövő, méretük folytán már a nanovilágba
tartozó tervezési szabály szerint elkészített integrált áramköröket
(IC) és a valódi, kvantumjelenségeken alapuló, áramköri struktúrákat
is. Ez utóbbiak azért tekinthetők struktúráknak, mert lényegében csak az
optoelektronika terén beszélhetünk kereskedelmi forgalomban is lévő félvezető eszközökről.
2. Jelenlegi helyzet
A mikroelektronikai termékfejlesztésben ezért
elsősorban konstrukciós megoldásokkal és az egyes elemek mérete
csökkentésével történt a fejlesztés, amelyre világosan és egyértelműen
utal Moore törvénye. Ez a törvény, amely nem természeti törvény, hanem a
műszaki-gazdasági folyamatokat leíró tapasztalati tényeken alapul, jól
prognosztizálja a digitális memó ria áramkörök fejlődését. Figyelemre méltó tény, hogy hasonló törvényszerűségek a mikroelektronika más területén – például analóg és/vagy nagyteljesítményű eszközök – nem figyelhetők meg.
A memó ria-áramkörök jellemzésére, nemzetközileg elfogadott módszer Gordon Moore törvénye, aminek alapján számolták ki a 1. táblázatban lévő eredményeket.
Mint látható a fejlődés kb. 2016-ig prognosztizálható, elsősorban a DRAM
áramkörök terén a törvényt is meghaladó mértékű fejlődéssel számol és a
chipenkénti tranzisztorok száma eléri a 1011-en darabot.
A mikroelektronikai alkalmazásban igen fontos szerephez jutnak a mikroelektronika
és a nanoelektronika területén lévő mikro-elektromechanikai rendszerek
és a mikro-optoelektronikai rendszerek. Ezek az eszközök ma elsősorban
szilíciumból kerülnek kialakításra, felhasználva és továbbfejlesztve a
hagyományos szilíciumtechnológia módszereit. A fejlődésben igen jelentős
szerep jut azonban új tulajdonságok, vegyület-félvezető anyagok
alkalmazásának is. Ezek közül jellegzetes anyagokat és azok
tulajdonságát mutatja a 2. táblázat. Mint látható a táblázatból, ezek az
anyagok a szilícium sávszélességét és mozgékonyságát messze meghaladó előnyös tulajdonságokkal rendelkeznek. Az anyagválasztás lényeges szerephez jut a CMOS áramkörökben alkalmazott dielektrikum anyaga is.
A CMOS-technológia
kétségtelen a legsikeresebb mikroelektronikai technológiává érett. Ez
jelenti a „technika állását”, amit a nanoelektronikának meg kell tudni
haladnia.
Lényeges változáson fog átmenni a chipek konstrukciója
is. A korábban kétdimenziós jellegű és alapvetően a felület mentén
szervezett chipek háromdimenziósak lesznek, amelyet például két chip
egymás felé fordításával és összeerősítésével érnek el. A konstrukció
nehézsége, hogy ilyen módon lényegében egy bimetál képződik és nehézzé
válik a felső chipből keletkező hő elvezetése.
A tervezési szabályok korábban a 0,5 mikronról
0,35-re, majd 0,25-re, majd 0,18 mikronra csökkentek. Elterjedőben van a
0,13 mikron tervezési szabállyal megalkotott áramkörök tervezése is. A
nanotechnológiát jelentő 100 nanométeres határt a 60 nanométeres,
illetve 45 nanométeres áramkörök megalkotása jelenti. Ezek az áramkörök
105…. 106 kapuáramkört tartalmaznak. A chip mérete jellemzően 10x10 mm, a
szeletátmérő jellemzően 300 mm. Speciális technológiai nehézséget
jelent, hogy ezek az áramkörök 200-800 kivezetéssel rendelkeznek.
A kis méretek kialakításában természetesen meghatározó szerep jut a litográfiának. Cáfolva a korábbi prognózisokat a litográfia
döntően még mindig fotolitográfiát jelent, igaz, hogy egyre
egzotikusabb anyagú világítótestek, egyre távolibb vonalas színképeit
használják megvilágításra, ami a fénysugár energiájának csökkenésével
jár, tehát a megvilágítási idő növekszik.
2.1. Technológia
A nanotechnológia két legismertebb alapterméke a
nanocsövek és a nanovezetékek. Azonban ezek működését már nem tudjuk az
eddigi ismereteink alapján magyarázni. A nanométeres tartomány
következménye, hogy a korábbi modellek általában alkalmatlanok az
eszközök leírására. Ennek oka – többek között –, hogy a nanoméretű
struktúrákban már nem keletkezhetnek akármilyen fononhullámok, ahogy
tetszőleges energiájú illetve koherens hullámhosszú elektronok sem.
Amikor már olyan kis méretekig megyünk le, hogy a minimális fononenergia
túllépi a termikus energiát, akkor már a kvantumfizika törvényi lépnek
életbe. Ezek alapján arra lehet következtetni, hogy a fonontranszport is
kvantált lehet, ahogyan az eletrontranszport.
A nanotechnológia a hőszigetelés terén is szerephez
jut. Nanoméretű rétegek laminálásával igen jó hőszigetelő barriereket
lehet előállítani. Ezek wolfram és alumínium-oxid nanoméretű vastagságú
laminálásából keletkeznek. Hőszigetelő képességüket még 1000Co felett is
megtartják a hővezetés értéke ekkor kb. 6 W/m/K.
A nanotechnológiában a nanoeszközök paramétereinek
megváltoztatását funkcionalizálásnak is nevezik. A nanométeres
tartományba eső hibák, a széntől különböző anyagok beépülése a szén
anyagú nanoobjektumokba módosíthatják az elektronszerkezetet. A
funkcionalizására számos módszert leírtak, és az a gyanúnk, hogy még
többet titokban tartanak.
Az első jelentések a szén nanocső tér vezérlésű
tranzisztorokról (Carbon Nanotube Field Effect Transisitor, CNTFET)
1998-ban jelentek meg. Ezeknek az eszközöknek a szerkezete igen egyszerű
volt. A szén nanocsövet úgy helyezték el, hogy az hidat képezzen két
arany vagy platina elektróda között, amelyek a tranzisztor source-aként
és drain-jeként szolgáltak. Ezeknek a CNTFET-eknek a karakterisztikája
hasonló a p-típusú MOSFET-ekéhez.
A méretek csökkenése a MOS-technológiában elsősorban a
kapuelektróda csökkentésén keresztül jelent számottevő előnyt. A
méretcsökkenésnek azonban egyéb konstrukciós változásokkal kell
társulnia.
Az anyagválasztás lényeges szerephez jut CMOS
áramkörökben alkalmazott dielektrikum anyaga is. A 3. táblázat a
dielektrikumok relatív dielektromos állandójának 1 MHz-en mért értékét
szemlélteti.
Bár az anyagok jelentős részénél a dielektromos
állandó értéke nagyobb, mint a szilícium-dioxid 3,9-es értéke, más
előnyös tulajdonságok (például könnyű megmunkálhatóság) mé gis jelentős alkalmazástechnikai előnnyel kecsegtetnek.
A kisméretű eszközöket tartalmazó integrált áramkörökben
lényeges változáson megy át a chipek konstrukciója is. A korábban
kétdimenziós jellegű és alapvetően a felület mentén szervezett chipek
háromdimenziósak lesznek, amelyet például két chip egymás felé
fordításával és összeerősítésével érnek el. A konstrukció során jelenleg
a hővezetés mellett a chip felületén terjedő órajelek sebessége jelent
gátló tényezőt. A chipek méretnövekedésével ugyanis az órajeleket egyre
távolibb pontjukra kell elvezetni. Ezt a nehézséget – többek között –
úgy is át lehet hidalni, hogy az órajelet a chip felületére a felette
elhelyezett antennáról sugárzással juttatjuk a megfelelő helyre. E
megoldás esetén az ún. off-chip antenna sugárzását a szilíciumchip
felületén kialakított bot antennák veszik és juttatják el a vezérlendő
áramkör részlethez. Az itt ismertetett megoldással kísérleti célra 24
GHz-es órajel frekvenciát értek el, ami lényegében egy nagyságrendes
javulást jelent a kereskedelmi forgalomban kapható processzorok
órajeléhez képest.
A kisméretű MOS-eszközök méretét két folyamat
határozza meg: az egyik a nagy meghajtó áram, ami az eszközök
optimálásához szükséges és a kis szivárgási áram, ami a disszipációt
csökkenti. A konfliktus középpontjában a kapuelektróda dielektrikuma
áll. Minél vékonyabb a dielektrikum, annál nagyobb lehet a meghajtó
áram, de annál nagyobb a szivárgási áram is.
Az ipari megoldások különféle utakat követnek.
Az egyik megoldás, hogy a dielektromos anyag
vastagságát azonos értéken tartjuk, és ehhez optimáljuk a tranzisztor
egyéb paramétereit, így például az adalékolást vagy a konstrukciót.
A másik megoldás, hogy olyan dielektrikumot alkalmazunk, amelyek
dielektromos állandója nagyobb, mint a szilicium-dioxidé. A nagy
dielektromos állandójú anyagot elegendő vékonyabban felvinni, ezzel
együtt megfelelő védelmet kapunk a szivárgási áramok ellen.
A nanoelektronika egyik leggyorsabban fejlődő területe a kijelzőkhöz, és
az abban lévő meghajtó áramkörökhöz csatlakozik. Új kijelző technológia
kifejlesztésében is betörtek a nanoanyagok. Az elektroforetikus
kijelzőben a képet töltött titán-dioxid pigmentek hozzák létre, amelyek 1
mikronméretű gömböcskékben helyezkednek el. A gömböket elektromos
térerőben mozgatják. E konstrukció nagy előnye, hogy szitanyomással
állítható elő, így tehát előállításuk olcsó.
Ezek a kijelzők várhatóan így ideig még nem lesznek versenytársai az OLED-eszközöknek
(Organic Light Emitting Diode). Ezek piaci részesedése ugyanis
elsősorban a mobiltelefonok és az MP3 lejátszók miatt, igen jelentős
növekedést mutat.
Az infokommunikációs eszközökben jelentős szerep vár a
függőleges üregű lézerekre (Vertical Cavity Surface Emitting Laser,
VCSEL). Bár struktúrájuk lényegesen bonyolultabb, mint a hagyományos
stripe (szalag) lézereké nagyon-nagy előnyük, hogy a lézersugár a
felületről függőlegesen lép ki.
A vegyület-félvezető anyagok tulajdonságai meghatározóak a létrehozható eszközök szempontjából (2. táblázat).
A vegyület-félvezető alapú nanoelektronika speciális
feladatok elvégzésére lesz alkalmas. A GaAs-alapú áramkörök nem lesznek a
Si- CMOS áramkörök vetélytársai, mivel áruk magas.
Hasonló esetre példa a mágneses buborékmemó ria, amely bár a laboratóriumban igen kiváló tulajdonságokkal rendelkezett, de az árversenyben elbukott.
A III-V kvantumeszközökkel le lehet csökkenteni az
elemszámot, de, még ha huszadrészére csökkenne is az elemszám, az árban
egyelőre akkor is versenyképtelen lenne.
A vegyület-félvezető alapú eszközök versenytársai a
szerves alapú eszközök is, ugyanis a jelenleg ismeretes szerves anyagok
nem jelentenek közvetlen alternatívát a szilíciumalapú integrált
eszközöknek. Alkalmazásuk elsősorban az olcsó eszközök terén várható. A
szerves eszközök előállítása lényeges olcsóbb és gyorsabb, mivel a
szilíciumon integrált eszközök előállítása bonyolult, mert
egykristályokat, több hetet, valamint egymás után következő, nagyszámú
technológiai lépés megvalósítását követeli. A szerves anyagokból
előállított vékonyréteg tranzisztorokban a mozgékonyság
értéke általában nem haladja meg az egy cm2/Volt szekundum értéket. A
belőlük felépített eszközök megbízhatósága ma már eléri az ipari
megbízhatóság határát.
A korszerű lézerekben is fontos szerepe van és marad a
vegyület-félvezetőknek. Elvben mind a kvantumpöttyök, mind a
nanoporózus-szilícium potenciálisan alkalmas arra, hogy hangolható
lézereket készítsünk belőlük, ami nagy előnyük a hagyományos
lézeranyagokkal, így a szilárdtest lézerekkel szemben is.
A spintronika azt az elvet használja, hogy a
mágnesességet az elektronok spinjének iránya határozza meg. A spin
tulajdonságainak kutatása vezetett el, a spintronika létrehozásához.
A spin kvantált, a két állapot között változik az iránya.
Az a jelenség, amelyet ballisztikus mágneses
ellenállásnak nevezünk a bemutatott kísérleti eredmények szerint egy
négyzetinch felületen terabit nagyságrendű információtárolást tesz
lehetővé. Ez az információsűrűség egy nagyságrenddel nagyobb, a
gigantikus mágneses ellenállás változáson alapuló tárolási módszerben
elért sűrűséghez képest.
A nanoelektronika gyorsan fejlődő területének tartják a spintronika elvein megépített tranzisztort.
A vékonyréteg tranzisztorok alkalmazása ismét előtérbe
került, gondoljunk csak a kijelzőkre. A jelenlegi
vékonyréteg-tranzisztor (Thin Film Transistor, TFT) előállítási
technológia ugyanis jelentősen leszűkíti az alkalmazható hordozók körét,
így kizárja, hogy a polikristályos szilíciumtechnológiát
műanyaghordozón valósítsuk meg, mivel a folyamat hőmérséklete magas. Az
amorf szilíciumban és a szerves félvezetőkből előállított
tranzisztorokban viszont a mozgékonyság rendkívül kicsi.
A kombinált eszközök alkalmazása, az
eszközfejlesztésnek ez az új iránya, integrálja a mobil távközlési
eszközöket különböző érzékelőkkel és jelfelfogókkal, amelyek lehetővé
teszik, hogy a felhasználók egészségügyi állapotukra, biztonságukra
vonatkozó információkat közölhessenek. A rendszerben kiemelt szerepet
kapnak azok az alkalmazások, amelyek a legszélsőségesebb körülmények
között is megtartják működőképességüket.
Különösen a távközlési alkalmazások szempontjából
fontos szerephez fogunk jutni Si/SiGepMOSFET eszközök technológiájuk
során igen lényeges, hogy meggátoljuk a SiGe vegyület-félvezető anyagból
a Ge kidiffundálását. A szilárd oxid alapú tüzelőanyag cella (Solid
Oxid Fuel Cell, SOFC) igen perspektivikus területe a nanoanyagoknak. Itt
elsősorban a nagyobb felületet és a korróziónak való jobb ellenállást
lehet kihasználni. Jelentősen megnő a katalitikus felület,
lecsökkenthető a létrehozás hőmérséklete, és így a költsége.
Mesterséges gyémánt rudakat (Agregated Diamond
Nanorod, ADNR) hoztak létre C60 fullerén molekulákat GPa-os nyomáson
kezelve 2500 K fokon. Az így előállított mesterséges gyémánt kevésbé
összenyomható, mint a természetes. Ez által gyémánt indenter
előállítására kiválóan alkalmas, és meg tudja karcolni a IIa-típusú
természetes gyémántot. Az anyag nagyszerűen alkalmazható lesz fémek és
kerámiák megmunkálására.
A gyémánt nanostruktúrák egyike az igen perspektivikus struktúráknak. Alapvető tulajdonságai az alábbiakban jellemezhetőek:
- Minden más anyagnál nagyobb szilárdság
- Alacsony súrlódási tényező (kisebb, mint 0,1)
- Minden más anyagnál nagyobb hővezetés
- Szigetelő, félvezető vagy fém típusú vezetés
- Optikailag az infravöröstől a távoli ultraibolyától átlátszó
A nanogyémánt és a BMG kompozitok (Bulk Metallic Glas,
BMG) a legnagyobb növekedési ütemet mutató nanoanyagok közé tartoznak.
Előállításukra CVD technológiát használnak.
Mivel – mind fentebb említettük – a gyémánt súrlódási
együtthatója kisebb, mint 0,1, ennek köszönhetően kenőanyagmentes
fogaskerekek és megmunkáló eszközök állíthatók elő belőle.
Gyémánt nanostruktúrák kialakíthatók azokon a közel egykristályos
gyémánthordozókon, amelyek már egy inchnél nagyobb átmérőben is
rendelkezésünkre állnak.
A nanoelektronikai elveken alapuló memóriák egyre
növekvő szeleteket hasíthatnak ki szilíciumalapú memóriák területéből.
Ezek mind a hagyományos szén nanocsövek, mind polimeralapú memóriák
lehetnek. Az összeköttetést a későbbiekben nanohuzalok biztosíthatják és
a tárolt információ mennyisége elérheti a 100Gbit/cm2 értéket. A
technológia eltolódhat az alulról történő megközelítés felé, amely új
tranzisztoranyagokat és új logikai struktúrákat eredményezhet. Ezek
helyettesíthetik a CMOS
áramköröket. Az olyan térvezérlésű tranzisztorok, amelyek nanocső, vagy
nanohuzal alapú csatornákból állnak valamint a kvantumpötty alapú egy
elektromos tranzisztor, amely kapacitásként szerepelhet, része lehet egy
hibrid nano-mikroelektronikai struktúrának. Ezeknek az eszközöknek
piaci bevezetését 2013-ra becsülik.
A molekuláris és nanocsöves memórák igen ígéretesek és
lehetővé teszik molekuláris méretű hengerek alkalmazását
információtárolásra. E rendszerek kapacitása a közeli években eléri azt a
színvonalat, hogy flash memóriákban alkalmazhatjuk azokat. Figyelmet
érdemel, hogy ezek a memóriák a tápfeszültség megszüntetése után is
megtartják információtartalmukat, így, ha megfelelő költséggel állítjuk
elő azokat, kiszoríthatják a winchestereket a személyi számítógépekből.
Az optikai kapcsolóelemek iránti igényt elsősorban az
internet iránti igény növekedése fokozza. Szükségessé válik a
hullámhossz alatti méretű optikai komponensek létrehozása.
A kijelzők vonatkozásában elsősorban a szórakoztató
elektronikában történő falra akasztható lapos képcső megalkotása a cél.
Jó néhány technológia már ma is lehetővé teszi ezt, azonban az áruk nem
elfogadható.
Az elektronikus papír (e-papír) igen sokat ígérő
termék, szélesebb kereskedelmi forgalomba kerülése az elkövetkezendő
években várható. A jelenleg versengő plazmás és folyadékkristályos
kijelzők versenyét majd a befutó harmadik, a nanotechnológia nyeri meg.
Az információtárolás egyébként a ponthatár felé halad. Képes-e egy
alapjában mechanikai rendszer, legyen az akár mikromechanikai, felvenni a
versenyt az elektronikai, mágneses adattárolókkal? A jelenlegi
kutatások és fejlesztések igennel válaszolnak e kérdésre.
Igen széleskörűen foglalkoznak az AFM (Atomic Force Microscopy) elvei alapján működő adattárolók kutatásával és fejlesztésével.
Egy megfelelő anyagból készült, nanométer-skálán
„meghegyezett” és egy rugalmas lemezkére erősített tűt ugyancsak
nanométer távolságban mozgatnak egy eleinte ideálisan sima műanyag, vagy
más, például üveg, felület felett. Időnként egy aktuátor
impulzusának megfelelően a tű behatol az anyagba, lenyomatot hagyva
maga után, ami megfelel egy „igen” jelnek, illetve bitnek. Ha a jelek
egy sor vagy spirál mentén helyezkednek el, a régi fonográf, vagy a
kevésbé régi hanglemez barázdáihoz hasonló felületi szerkezet alakul ki,
amely ugyanazzal a tűvel „letapogatható”, azaz a beírt információ
leolvasható. A különbség és a lényeg a méretekben rejlik: a tárolt
információ felületi sűrűsége elérheti a 200 Gbit/cm2 számot, ami egy
nagyságrenddel nagyobb, mint a mai legfejlettebb mágneses
adattárolókban. Az írás-olvasás gyorsaságát a tű (vagy inkább egy sor
közelálló tű) piezoelektromos aktuátorokkal való rövid távú, de gyors
mozgatása biztosítja. A „Milliped” névre keresztelt adattárolók
mintapéldányai már a laboratóriumi kísérletek stádiumában is bizonyítják
a hozzájuk fűzött remények megvalósíthatóságát. Az egyes tűk
információátbocsátó képessége a kilobit/sec tartományba esik. Az
energia-felhasználás néhány megabit/sec érték mellett a 100 mW-os
tartományba esik. Egy 1024 tűs kísérletben 200 Gb/négyzetinch, ami egy
3mm élhosszúságú négyzetre átszámítva 0,5 Gbit-nek felel meg.
A nanocsöveknek mindössze az egyharmada fémes vezetést mutató tulajdonságú nanocső, a fennmaradó tö bbség
félvezető tulajdonságú. Akkor viselkednek félvezetőként, ha a tiltott
sávszélesség elegendően nagy ahhoz, hogy az elektronok ne tudjanak
átlépni rajta megfelelő energiamennyiség közlése nélkül. A nanocsövek
átmérőjének növekedésével egyre több elektron állapot megengedett. A
tiltott sávszélesség tehát, a 0-tól indulva elérheti szilícium tiltott
sávjának szélességét. Ez így igen jó lehetőség arra, hogy előre
meghatározott tulajdonságú nanocsövet állítsunk elő.
A szén nanocsövek tulajdonságai nemcsak a saját
felépítésüktől függenek, hanem visszafordítható folyamatok indulhatnak
el, már egészen kis mennyiségű gáz adalékolása esetén is. Így például a
félvezető állapotot átfordíthatjuk vezető állapotba is. Ennek
segítségével rendkívül érzékeny gázdetektorok állíthatók elő. Ha ezekből
a nanocsövekből térvezérlésű tranzisztorokat készítünk, akkor azok is
használhatók érzékelőként.
2.2. Alkalmazás
A szén nanocsövek várható alkalmazásai között sok a különböző tranzisztor.
Nemrég készült el egy olyan tranzisztor, melynek a
csatornáját 18 nm hosszú és 0,7-1,0 nm átmérőjű szén nanocső képezi. A
tranzisztor tranziens árama meghaladhatja a 15 mikroampert 0,4 V
feszültség mellett és már 0.35 V tápfeszültség mellett is tud működni,
amire a félvezető technika még nincs is felkészülve.
A Nanomix vállalat és a Kaliforniai Egyetem kutatói
kifejlesztettek egy, igen kicsiny CO2 koncentrációk érzékelésére
alkalmazható szén nanocső alapú szenzort. A készülék lelke egy FET,
amelyben a source-drain csatorna félvezető egyrétegű szén nanocsőböl
áll. A nanocsövet poly(etilén imin) és keményítő polimerek keverékével
funkcionalizálják, majd vegyileg modifikálják úgy, hogy a szenzor
érzékenysége 500 ppm – 10% lesz a levegőben. Kicsiny mérete és
fogyasztása miatt a berendezés alkalmas a vezeték nélküli érzékelésre az
iparban és az orvostudományban.
Az eddig ismert p-típusú Si nanoszál mellett elkészült
az n-típusú egykristály nanoszál is. Az ilyen n-típusú szálakból
készült térvezérelt tranzisztorok jó paraméterekkel rendelkeznek, a
hordozók mozgékonysága megközelíti a planáris Si FET-re jellemző
nagyságot. Így lehetőség nyílik új komplementer p-n eszközök
előállítására is.
Kísérletek folynak grafén benzol-gyűrű szerkezetű
szénrétegekkel, melynek méretei elérik a 10 mikrométert és vastagsága
egy mono-atomitól néhány egymásra épült atomi réteg vastagságú lehet.
Mindeddig úgy vélték, hogy a szén nanocsövek ilyen szénréteg
„feltekeréséből” keletkeznek, és maga a réteg nem stabil. Ennek ellenére
az eredmények azt mutatják, hogy a grafén rétegek normál körülmények
közepette stabilak és kiváló szerkezettel rendelkeznek. Az anyag
elektromos vezetése fémes, kétdimenziós ballisztikus elektron transport
figyelhető meg benne. A réteg volt-amper jellemgörbéje lineáris és 108
A/cm2 áramot is mértek benne.
3. Folyamatban lévő kutatások, fejlesztések
A folyamatban lévő fejlesztések jelentős részben
változatlanul új anyagok előállítására koncentrálnak, amelyekből még
mindig tranzisztor szemléletű eszközöket állítanak elő. Így az új
anyagokból olyan térvezérlésű tranzisztorok hozhatók létre, amelyekben a
vezető csatorna kétdimenziós elektron- vagy lyuk-gázoknak megfelelő
állapotba kapcsolható át a kapu feszültségének irányításával. Az
„on/off” ellenállás hányadosa ugyan elég kicsiny (300 K foknál kevesebb,
mint 30), de elegendő a logikai elemek működéséhez. A paraméterek
további javítását a p-n átmenetek és a pont-kontaktusok kialakításától
várják a kutatók.
A szén nanocsövek szilíciumszeletek felületén ígéretes
anyag kombinációt jelentenek.
Ugyancsak lényeges megemlíteni, hogy a szén nanocsövek hővezetése kb.
hétszerese a gyémántnál mérhető 3.000W/Km értéknél. E két előnyös
tulajdonság tehát a nagy áramsűrűség és a jó hővezetés feltehetően
jelentősen hozzájárul ahhoz, hogy nagyteljesítményű processzorokat
állítsunk elő.
A szén nanocsövek használatára eddig használt
technológiai módszerek – lézeres leválasztás, szikra kisülés – azonban
nehezen egyeztethetőek össze az félvezető technológia lépéseivel. Az
alkalmazhatóság feltétele tehát, hogy igen rövid idő alatt a lehető
legalacsonyabb hőmérséklet mellett történjen a szén nanocsövek
növesztése.
Az első lehetséges alkalmazás feltehetően az integrált áramkörökben
levő fémezéseket összekötő hidakban (via) fog történni. Ezekben az
alkalmazásokban a nanocsövek harmadik igen előnyös tulajdonsága a nagy
mechanikai stabilitás is szerephez jut.
A szén nanocsövek további előnyös tulajdonsága, hogy
félvezetők lehetnek, adalékolhatók és új típusú kapcsoló elemek hozhatók
létre így.
A szén nanocsövek átmérőjét változtatva a félvezető
anyag tiltott sávszélességét tudjuk befolyásolni. A szokásosan egy
elektronvoltos tiltott sávszélességnek egy nanométer átmérőjű nanocső
felel meg.
Kísérleteznek folyamatokkal, amelyekkel többféle
sávszélességű anyagok állíthatóak elő. A szilícium sok esetben üveggel
helyettesíthető. A szén nanocsövek alkalmazásával a planár mikroelektronika feltehetően kiterjeszthető lesz háromdimenziós rendszerek létrehozása felé.
A szén nanocsövek megjelennek integrált eszközökben is.
Ellenőrzött szén nanocsöves rajzolatot alakíthatunk ki szilícium felületén is.
A legtöbb nanotechnológiai módszerrel előállított
struktúra alkalmas beágyazó áramkörrel kombinálva elvezethet bennünket a
nanoérzékelőkhöz. A nanoérzékelők előnyeit az alábbiakban foglalhatjuk
össze:
- nagy felületi érzékenység
- linearitás (ez elsősorban a szénnanocső alapú érzékelőkre igaz)
- nagy felületi érzékenység lévén az atomok jelentős része a felületen helyezkedik el
Az érzékelés alapja nagyon gyakran az, hogy valamilyen
módon, például a rá abszorbált vegyületekkel megváltoztatjuk a szén
nanocső vezetőképességét.
A szén nanocsőből készült érzékelők érzékenységét
kémiai kezelésekkel is módosíthatjuk. E folyamatok során a nanocsövek
felületéhez kovalens kötéssel különféle molekulákat kapcsolhatunk.
Ezeket funkcionális csoportoknak nevezzük, ami arra utal, hogy
jelentősen módosítják a szén nanocsövek (például elektromos)
tulajdonságait.
Az érzékelőelem kialakítására általában valamilyen
speciális rajzolatot kell létrehozni. A rajzolatok kialakítását
igyekeznek a mikroelektronikai technológiából jól ismert Si/SiO2
felületen megvalósítani. Az érzékelés gyakran két fém elektróda közötti
szén nanocsővel történik. Az elektródák távolságát igyekeznek a lehető
legkisebbre választani, hogy elkerüljék a hosszú szén nanocsövek
előállításakor bekövetkező felcsavarodást.
A nanonyomtatás (nanolitográfia) lehetőségei ma már
kiterjednek arra is, hogy 10 nm alatti tartományban hozzunk létre
geometriai alakzatokat. Az alapanyag olyan polimer, amelyet a nyomtatás
alatt az üvegesedési hőmérséklet fölé melegítünk. A leggyakrabban
használt anyag az elektron-litográfiában a PMMA
(Poli-Metil-Meta-Acrilat, PMMA, kereskedelmi nevén plexi).
Az alábbiakban néhány példán szemléltetjük a
nanotechnológiával létrehozott érzékelők lehetőségeit és sokszínűségét.
Az áttekintésnek nem lehet célja a teljesség, mivel igen gyorsan
fejlődő, nagyon sokszínű területről van szó. A nanoelektronikában
alapelemnek számít az egyelektronos tranzisztor. Ha egy egyelektronos
tranzisztort kapcsolatba hozunk egy kantileverrel, akkor egy új típusú
érzékelőt kapunk. A mechanikai vibráció ugyanis megváltoztatja a
kantilever helyzetét, és ez hatással van az egyetlen elektron
áthaladására.
Az érzékelők egyik legfontosabb felhasználási területe a robotika. E
területen szinte valamennyi érzékelőt és ezek kombinációját is
használják. Ennek példája a nanobőr, amely egyszerre képes a nyomás és a
hőmérséklet érzékelésére. A többrétegű szerves tranzisztor alapú
elektronikus áramkörök között szintén szerves hőmérsékletérzékelő
rétegek vannak. A mért értékek kiolvasása mátrix alapon történik. A
kutatás jelenleg olyan nanobőr kialakítására irányul, amely fényt,
nedvességet és hangot is érzékel egyidejűleg.
A nanocső igen kedvező mechanikai tulajdonságai
különösen előnyössé teszi alkalmazását mechanikai paraméterek
megváltozásának mérésében. Mai ismereteink szerint az egyfalú szén
nanocső ugyanis a legnagyobb szilárdságú anyag, Young-modulusa a TPa
nagyságrendbe esik. Lehetőség van szén nanocsövekből nyúlásmérő
érzékelők kialakítására.
Az erős szerkezet, a nagy rugalmassági modulus és a
piezorezisztív tulajdonság indokolja a lehetőségét, hogy egy hosszú,
összefüggő szenzort készítsenek nagy szerkezetek nyúlásméréséhez a
struktúrahiba-detektálás (Structural Health Monitoring, SHM) számára.
Korábbi kutatások kétféle megközelítését vették figyelembe a CNT-n
alapuló nyúlásméréseknek, ez a két alkalmazás a Raman-spektroszkópia és a
piezorezisztív „buckypaper” nyúlásérzékelő. A buckypaper egy olyan szén
nanocsövekből előállított, szövetszerű anyag, melynek alkotóelemei, a
nanocsövek kb. tízszer könnyebbek az acélnál, de 250-szer erősebbek
nála, és a keménységük kétszer akkora, mint a gyémánté. Ezek mellett
kiváló mechanikai tulajdonságok mellett még rendkívül jó elektromos és
hő vezetőképességgel is rendelkeznek.
A nanotechnológiai érzékelők – mint fentebb vázoltuk –
kistömegűek és alkalmasak igen kis tömegű minták analízisére is. Az
analízishez használt anyagmennyiség szintén a liter nanotartományába
esik. Ezek az analízisek gyakran spektroszkópikus módszerek. A
lézerspektroszkópiában kiemelt szerephez jutnak azok a módszerek,
amelyek kis térfogatú minták analíziséből megbízható eredményeket
szolgáltatnak.
A nanotechnológia segítségével hőérzékelőket is
készíthetünk. A hőérzékelő elem maga az egyfalú nanocső, amelyet
szilícium/szilícium-dioxid felületén alakítanak ki.
A nanoszenzorok igen perspektivikus területe azok az
alkalmazások, amelyek az emberi testeken belül működnek és semmiféle
vezetéket nem igényelnek a külvilág felé. Ezek az érzékelők gyakran a
kémiai és biológiai elvű érzékelők határán helyezkednek el.
4. A várható fejlődés
Nem készíthető megbízható előrejelzés tíz-tizenöt évre, így csak rövid szcenáriók vázolhatók fel.
A méretcsökkenés a Moore-törvény szerint 2016-ig
végbemegy, a szilícium utáni (részben nélküli) korszakot megelőzi a SiO2
nélküli korszak.
Mindenképpen számítani kell új kvantummechanikai,
alacsony dimenziójú rendszerekben új jelenségek felfedezésével. Ezek
öt-tíz év alatt tömegesen elterjedhetnek, mint visszamenőleg látjuk a
GMR jelenség tömeges számítástechnikai alkalmazása példáján.
Csak az élvonalbeli félvezető eszközökben megy végbe anyagváltás, a domináns mikroelektronikai anyag a szilícium marad.
A tranzisztor-szemléletű áramköri konstrukcióról a
hangsúly a funkcionális egységekre tevődik át. Ezek minden bizonnyal
fognak szerves anyagokat tartalmazni; alapelem lehet a szilícium-fehérje
párosítás.
5. Befolyásoló tényezők
Jelenleg nem tudjuk meghatározni az összes hatóerőt. Ezek feltehetően meghaladják a mikroelektronika ilyen jellegű folyamatait, mivel itt hangsúlyozott szerephez jutnak a szerves anyagok is.
Az IKT más területein felmerülő technológiai
fejlemények közül a sebesség növelése, az információtárolás iránti igény
növekedése jelenti elsősorban a húzóerőt. Meghatározó szerepet játszik
az anyagtudomány fejlődése. Feltehetően a legkülönfélébb struktúrák
előállításáról a nanoeszközök fejlesztésére tevődik a hangsúly át, azaz
hasonló lesz a fejlődés, mint a félvezető heteroszerkezetek esetében
volt, ahol szintén az anyagok sokféleségéből választották ki azt a
néhányat, amelyek az ipari alkalmazások döntő hányadát jelentik.
5.1. Technológia
A technológiai változások mind a szerves, mind a
szervetlen világban fontosak. Lényeges lesz a szervetlen rendszerek
önszerveződése, mert ennek ismeretében a mikroelektronikai ismeretek is
hasznosulhatnak a nanoelektronikában (például SiO2 önszerveződése).
A technológiai fejlődés elsősorban az egyelektronos
tranzisztor és a nanocsövek területén lesz jelentős. Biztosnak látszik,
hogy a CMOS
eszközöket csak valamilyen hibrid megoldással válhatjuk ki. A
nagyságrendileg 5 nm-es kapuhossz elérése feltehetőleg nem a Si-alapú
eszközökkel történik majd, bár a szilícium szerepe megmarad. Önmagában
az egyelektronos tranzisztor és a CMOS technológia komplementernek tekinthető, így nem válják ki egymást.
Bejelentették az első nyomdaipari technológiával előállítható szén nanocsöves tranzisztort.
Hatását nehéz túlbecsülni, elsősorban az eldobható elektronikus eszközök
szempontjából lesz jelentősége, megsemmisülése során Co2 keletkezik.
5.2. Társadalom és gazdaság
Egy új technológia megalkotása során igen lényeges
és gyakran a technológia megalkotásával összemérhető ráfordítást igénylő
feladat a technológia gazdasági-társadalmi hatásainak felmérése. A
társadalmi hatások alatt értjük nemcsak a társadalom egyes tagjaira
gyakorolt közvetlen, hanem a társadalmi folyamatokra gyakorolt hatást
is. Ez alól természetesen a nanotechnológia sem lehet kivétel. Az
alábbiakban a teljesség igénye nélkül felsorolunk néhány olyan
területet, ahol a nanotechnológia – és sok esetben a tárgyunkat jelentő
nanoelektronika – a belátható jövőben jelentős szerephez juthat:
- nanostrukturájú
katalitikus anyagok előállítása, vegyi folyamatok nagyobb hatékonyságú
irányítására, beleértve az autók kipufogó gázainak tisztítását,
- könnyebb és nagyobb
szilárdságú anyagok nagytömegű előállítása nagyobb hatékonyságú és
fokozottabb biztonságú járművek előállítására,
- olyan gyógyszerek
előállítása, amelyek programozott lebontásúak, céljuk a rákos sejtek
elpusztítása és egyéb célzott hatások elérése,
- költséghatékony és megbízható szűrők előállítása a víz és a levegő tisztítására, beleértve a tengervíz sótalanítását is,
- a napenergia hatékony hasznosítása,
- tüzelőanyag-cellák előállítása, elsősorban járművekben alkalmazható kivitelben,
- kompozit anyagok előállítása, speciális felhasználása, ahol a polimereket nanorészecskékkel erősítjük meg,
- tervezett lebontású táp- és rovarölő anyagok,
- új meghajtó egységek (elsősorban űrbeli) alkalmazása,
- nanoméretű érzékelők előállítása,
- nanobevonatok, öntapadó, hőelnyelő, hővisszaverő tulajdonságokkal.
A fenti rövid felsorolásból is látható, hogy igen
szerteágazó területről beszélhetünk. Itt is igazolódik, az a feltétel,
hogy ellentétben a mikroelektronikával, ahol néhány típus áramkört
alkalmaztunk az élet nagyon sok terültén, a nanotechnológia alkalmazása
szintén sok területre terjed ki, de nem beszélhetünk elemi
építőkövekről.
A társadalmi hatások közül a kockázat emelendő ki.
Ezek elemzésénél abból kell kiindulni, hogy a nanotechnológia az
anyagok és részfolyamatok sokkal nagyobb halmazát kezeli, mint például a
mikroelektronikai technológia. Ezek közül néhányat példaként meg is
neveznénk:
- a nanotechnológia által előállított termékek üzleti kockázatai,
- a szellemi tulajdonvédelem kockázatai, amelyek szintén az anyagokkal és technológiákkal függenek össze,
- politikai kockázat, amely elsősorban abból ered, hogy az egyes országok és régiók szerepe átértékelődik,
- a miniatűrök, szenzorok megjelenése veszélyt jelenthet a magánéletre és kockázatot bizonyos információk nyilvánosságra kerülésével,
- a nanorészecskék bekerülése a környezetbe eddig nem látott vegyi és biológiai kockázatot jelent,
- a nanorészecskék hatása az őket előállító és felhasználó személyekre,
- az emberi tulajdonságok javításának kockázata,
- a nanogépek önreprodukciójának korlátozása.
A nanotechnológia kifejezés túl általános ahhoz, hogy
részleteiben is leírja az egyes kockázati tényezőket, ezért egészen
széles körből kell megválogatni azokat a folyamatokat, amelyek
összességükben meghatározzák a nanotechnológia kockázatát.
A kockázatot befolyásoló további tényező, hogy
kezdetben a nanorészecskék feltehetően nem kerülnek közvetlen
kapcsolatba a fogyasztókkal, mivel azok egy terméknek csak egy bizonyos
részében lesznek jelen. Ez a jelenlét kezdetben beágyazott anyagként
történik, és csak valamilyen váratlan esemény például baleset hatására
juthat ki a környezetbe.
A jelenleg ismert nanotechnológiai folyamatok sokban hasonlítnak a
kémiai technológiai folyamatokra, így a kockázatelemzés során is ennek
megfelelően kezelhetőek.
A kockázati tényező korrekt meghatározása céljából
lényeges megemlíteni a pozitív hozadékokat is. Ezek hozzásegíthetnek
ugyanis például a tiszta ivóvízellátás, hatékonyabb energiakonverzió és
energiatárolás megvalósításához. Az átlátható és az átlagember számára
érthető előnyök és kockázatok elemzése könnyebbé teszi, hogy a
társadalom elfogadja ezt az új technológiát. Fontos hangsúlyozni, hogy a
kockázatot képesek vagyunk ellenőrzésünk alatt tartani.
6. Várható hatások
Ezeket a lehetőségeket elsősorban a molekuláris
nanotechnológia köré csoportosítják. A molekuláris nanotechnológia
alapötlete az, hogy olyan robotokat hozunk létre, amelyek atomok vagy
molekulák csoportba rendezésével molekuláris szinten képesek létrehozni
anyagokat. Ez új anyagokhoz vezethet, amelyek nem találhatók meg a
természetben, és nem hozhatók létre a kémia szokásos módszereivel. A
modellezésnek, amely ezeknek az anyagoknak létrehozását és stabilitását
segíti elő szintén a molekuláris szinten kell mozognia.
Ezután következik a második nagy lépés, amely abban
foglalható össze, hogy ezek a molekuláris gépek elkezdik saját maguk
kópiáját létrehozni, és így az képes lesz ismét a saját maga kópiáját
létrehozni, azaz ezek a kis gépek exponenciális növekedési ütemben
szaporodnak. Elméletben a nagy komplex struktúrák előállíthatók ilyen
atomi pontossággal megvalósított rendszerekből. Elvben még a gyémánt
esetében is megtehetjük. Ha elfogadjuk hogy ilyen általános célú,
programozható szerelőgépeket hozhatunk létre, akkor meg kell tudnunk
mondanunk azt is, mi az, amit létrehozhatunk majd.
Ha feltételezzük, hogy ilyen molekuláris szintű
szerelőgépek létrehozhatóak, és termelésük gazdaságilag kifizetődőbb,
akkor nincs értelme azt állítanunk, hogy tíz vagy húsz éven belül ezek
ne bírnának jelentős gazdasági haszonnal. Hogy e fejlődésen belül mi
lesz a nanoelektronika szerepe a szabályozásban, a folyamat
vezérlésében, ma nem látjuk. Jelenleg nem becsülhető meg az sem, hogy
mennyi lesz az önszabályozás szerepe, mennyi lesz az érzékelésen alapuló
szabályozott építkezés aránya.
A mikroelektronikában befejeződött a méretcsökkentés kora, amikor az elemi tranzisztor méretei csökkenésével javultak az integrált áramkörök
(IC) műszaki-gazdasági paraméterei. Helyettük új problémák jöttek elő,
amelyeket elsősorban a hőterhelés okoz. Erre is megoldást jelent a szén
nanocsövek és a félvezető tulajdonságú, közel monolit szerkezetű,
nanohuzalok alkalmazása az áramkörökben. Míg korábban az IC ipar fő
húzóereje a PC és a híradástechnikai ipar voltak, ezek helyét a
nanoelektronika fő húzóerejének tekintett rejtett számítógépek, az
intelligens szenzorok,
a hordozható eszközök és az orvosi eszközök jelentik. Bár ezek a
követelmények is megkívánják a miniatürizálást és a tárolókapacitás
növelését, a hangsúly azonban nem a számítási teljesítmények növelésén,
hanem a rugalmasságon és az energiamutatók javulásán van. Felértékelődik
az ember-gép és a gép-környezet kölcsönhatása.
Az egyelektronos tranzisztortechnológia igen alacsony fogyasztás és nagy elemsűrűség esetén jelenthet megoldást, míg a CMOS a nagysebességű és nagyáramú alkalmazásoknál tartja meg vezető szerepét.
6.1. Technológia
Elsősorban az információtárolás lesz az a terület, ahol a mikroelektronika
felől közelítő nanoelektronikai eszközök kifejtik hatásukat. Szerephez
jutnak benne a plazmonok, amelyek lehetővé teszik a hullámhossz
századrészénél is kisebb felbontást.
A technológiában dominál a tranzisztor-központú
szemlélet, igyekeznek a csíkszélességet csökkenteni. Ez jelenleg 300 mm
átmérőjű szilíciumszeleten valósul meg. Kész a 450 mm átmérőjű szelet
is, de bevezetésének gazdasági korlátai vannak.
6.2. Gazdaság
Ma még csak feltételezzük, hogy a nanoelektronikai termékek ugyanúgy áthatják a gazdaságot, mint tette azt a mikroelektronika.
Csak egy szegmenst vizsgálunk meg, ez maga az IKT. A nanoelektronika termékei először integrált áramkörként jelennek meg. Ezek FPGA és más típusú memóriák, melyeket feltehetően szórakoztató elektronikai termékek követnek (például egy chipes DVD).
Az érzékelők területén igen sok kezdeményezést, ötletet találunk a szakirodalomban.
Így nano mágneses részecskéket tartalmazó bárkódot készítettek. Permalloy
nanorészecskéket tartalmaznak a vonalak. A másolásnál a mágneses tér
megsérül, így hamísíthatatlan. A ballisztikus mágneses effektus
(ballistic magneteresistance effect, BME) az elektromos ellenállás
megnövekedésével jár. Ez 100… 10000 %-ig terjed. A mágneses tér hatására
a részecskék összeállnak, és jobban vezetnek. Ez is felhasználható igen
gyenge mágneses terek érzékelésére. Mustárgáz mikrofűtő érzékelő 1 per
millió érzékenységgel, fémoxiddal borított fűtőelemének ellenállása
változik meg. Ezt egy neurális tanuló hálózathoz kapcsolják. Igen kis
koncentrációk érzékelésére alkalmas.
Mások gyorsulásérzékelőt építenek a pacemaker mellé,
azzal érzékelik a páciens fizikai aktivitását, s ehhez igazítják a
szívverés számát.
Az információtárolásban a határfelületi effektusok
meghatározó szerephez juthatnak, a transzportfolyamatok hullám-jellegűvé
válnak, a kvantumhatárolás (quantum size confinement, QSC) jól
megfigyelhetővé válik. Az ilyen rendszerekben mérhető gigantikus
mágneses ellenállás-változás (Giant Magnetoresistance Effect, GMR)
jelensége igen érzékeny mágnestér szenzor megalkotását teszi lehetővé. A
jelenség alkalmazható mágneses RAM memóriák létrehozására is. A korábbi
1 kbites ferritgyűrűs memóriaelemekkel szemben itt 100 Mbit-es chipek
készülnek. Ezekben az elemekben a hozzáférési idő igen rövid, 10
nanosec-os nagyságrendű. A tárolók nem igényelnek az információ
tárolására tápfeszültséget, nagyon jó a sugárzásállóságuk, ami tovább
növeli alkalmazhatóságukat.
A milliped típusú memóriák jelentős információtárolási sűrűséget nyújtanak.
A mágneses lemezek kapacitása a Moore-törvényhez hasonló módon alakul. A DRAM
memóriák gyors hozzáférést tesznek lehetővé, azonban a bitenkénti
információtárolás drága. Mivel a mágneses tárolási módszerek egyre
nagyobb fajlagos sűrűséget és alacsonyabb költséget nyújtanak, a
nanotechnológiai memóriafejlesztés elsősorban abban az irányban indult
meg, hogy lehetővé váljon elegendő nagy kapacitás és a tárolt adatok
megőrzése a RAM típusú memóriákban is. A cél itt az, hogy ezek a
nanotechnológiai alapú memóriák alkalmazhatók legyenek személyi
számítógépekben is.
A bennünket körülvevő eszközök egyre nagyobb mértékben
személyre szabottak és hordozhatóak. E tulajdonságok megkövetelik, hogy
az egyes készülékek önálló energiaforrással rendelkezzenek. Az
energiatárolás másik jelentős kihívása az elektromos és/vagy vegyes
üzemelésű személygépkocsi. Ez vezetett a nanotechnológia alkalmazásához e
területen, amely a szén nanocsövek első tömeges alkalmazását jelenti. A
szén nanocsövek ugyanis jelentősen nagyobb felületet jelentenek, mint a
tömbgrafit, ezáltal növekszik a grafit anód kapacitása. A töltés többek
között ezért is korlátos, hiszen az ilyen jelentős mechanikai
deformáció töréshez vezethet. Itt is jelentkezik a szén nanocsövek
alkalmazásának előnye, mivel mechanikai tulajdonságaik lényegesen
jobbak, mint a grafité, szakítószilárdságuk még az acélhuzalok vonatkozó
értékét is hétszeresen meghaladja.
A híradástechnikai alkalmazások közül megemlítendők még a különféle hangolásra használható mozgó elemeket, bár ezek inkább az MEMS technológia területéhez tartoznak.
6.3. Társadalom
Az átlagember feltehetően először a nanoélelmiszerekkel
és gyógyászati alkalmazásokkal találkozik. Mindkét területen erős a
költségérzékenység. Nagy a veszély, hogy ez elmossa a várható előnyöket.
Az önszerveződés – mint várhatóan kiemelkedően
hatékony technológia – és a nanorobotok jelentősen növelhetik a
munkanélküliséget.
7. Hazai helyzet
A hazai helyzet sajnálatos sajátossága, hogy a nanotechnológia terén nem létezik semmiféle központi program.
A Bay Zoltán Alkalmazott Kutatási Alapítvány miskolci kezdeményezése –
bár hivatalosan bírja a kormány támogatását – fontos lépés, de nem
tekinthető kormányzati programnak.
7.1. Jelenlegi helyzet
A nanotechnológiában Magyarországon elsősorban a
gyógyszeripar területéről várhatunk tömeges alkalmazást. Mintegy negyven
helyen folyik kutatás-fejlesztési tevékenység, illetve kismennyiségű
gyártás (például a festékiparban).
Az egyetemi és az akadémiai szféra k+F tevékenysége
ismereteink szerint még nem jutott el szabadalmaztatható megoldási
szintig. Elsősorban a szervetlen területen folyik kutatás.
A nanoelektronikával két egyetemen (Debreceni Egyetem, PPKE) foglalkoznak.
7.2. Kutatások, fejlesztések és a várható fejlődés
A várható fejlődésben meghatározó lesz az EU 7.
keretprogramjában történő pályázatok sikeressége. Ez ma még nem ítélhető
meg. Fontos szerephez juthatna az OTKA pályázati rendszer is, azonban
az ott jellemzően megítélt források nagysága csak egészen behatárolt
kutatási tevékenységre ad lehetőséget.
7.3. Befolyásoló tényezők és hatások
A legjelentősebb hatást a tervezett központi
intézkedések és az EU-s pályázati pénzek jelentik. Lényeges előrelépés
lenne, ha sikerülne legalább informális koordinációt megvalósítani a
mintegy harminc hazai kutatóhely tevékenysége között.
8. Összegzés
A terület feltétlenül alkalmas kutatási
tevékenységre. A korábbi mikroelektronikai, rendszertechnikai,
beágyazott rendszerekkel kapcsolatos kutatásokat kell itt is
hasznosítani. Elsősorban a méréstechnika és a szimuláció fejlesztendő.
A nanoelektronika kutatási súlypontjai ma az új
anyagok előállításán és a nanoeszközök alkalmazástechnikáján vannak. Még
mindig újabb anyagokat tárnak fel, holott az alkalmazástechnikától
várhatunk gazdasági eredményeket. Nem valószínű ugyanis, hogy a tömeges
alkalmazások ne a szén és/vagy a jól bevált elemi és vegyület-félvezetők
területéről kerülnének ki.
A félvezető Si, Ge, In2O3, ZnO és SnO2 nanohuzalokra
már vannak megfelelő technikák, amelyek a kutatást ellátják a megfelelő
struktúrákkal. Ezek az egydimenziós félvezető anyagok általában
epitaxiásan nőnek a hordozó felületére. Alkalmazhatók MOS-tranzisztorok
csatornájaként is, és lehetnek a háromdimenziós információtárolás
eszközei is.
A hazai kutatások jelenleg átfogó stratégia nélkül, a
pályázatok esetlegességei között, történnek. Szükség lenne egy
intézményesült stratégiára.
Ennek a lehetséges stratégiának három elemét emelnénk ki:
a) A
transzportfolyamatok (elektromos, fény, hő) mélyebb megértése,
támaszkodva az alapkutatási eredményekre. Ezeket a folyamatokat a DC…
THz-es tartományban kell vizsgálni.
b) Az önszerveződés lehetőségeinek mind teljesebb feltárása, hogy olcsóbbá tegyük a termékeket.
c) Kombinált
rendszereket kell vizsgálni, nem a hagyományos mikroelektronikát kell
helyettesíteni. Mindenképpen figyelembe veendőek a szerves anyagok.
Ajánlott irodalom
- Bhusham, B.: Nanotechnology Laboratory for Information Storage and MEMS/NEMS. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, 2004.
- Busnaina, A.: Nanomanufacturing Handbook. CRC Press, Taylor amp; Francis Group, 2007.
- Gad-el-Hak, M.: MEMS – Design and Fabrication. CRC Press, Taylor amp; Francis Group, 2007.
- Jones, R. A. L.: Soft Machines – Nanotechnology and Life. Oxford University Press, 2005.
- Mamalis, A. G. –
Vogtländer, L. O. G. – Markopoulos, A.: Nanotechnology and
nanostructured materials. Trends in Carbon Nanotubes, Precision
Engineering, vol. 28, pp. 16-30. 2004.
- Mojzes Imre (szerk.): Mikroelektronika és technológia. Műegyetemi Kiadó, Budapest, 2005.
- Mojzes Imre – Molnár László Milán: Nanotechnológia. Műegyetemi Kiadó, Budapest, 2007.
- Monoruzzaman, M. –
Winey, K. I.: Polymer Nanocomposites Containing Carbon Nanotubes.
Macromolecules, 39, No 16, pp. 5194-5205. 2006.
- Rogers, B.: Nanotechnology – Understanding Small Systems. CRC Press, Taylor amp; Francis Group, 2007.
- Simpkins, B. S. –
Phersson, P. E. – Laracuente, A. R.: Electrical Conduction in GaN
Nanowires. Applied Physics Letters, vol. 88, 072111, 2006. április 10.
|