http://primaxstudio.com/stuff/scale_of_universe/ 1 Fotolitográfia a nanoelektronikában Hagyományos fotolitográfia összefoglalása, korlátok. "Trükkök", amelyekkel a nanométeres litográfia megvalósítható 2 CMOS technológia a nanométeres tartományban Moore törvény, történeti visszatekintés Scale down Nanométeres CMOS tranzisztor változatok Nanométeres CMOS technológiai specialitások (feszített kristály, high-k, low-k, damaszkuszi technika, CMP). 3 Spintronika GMR hatás...stb... ld a kezdeményt. 4 Egyelektron eszközök 5 SPM módszerek 6 Önszerelő technikák Lagmuir-Blodgett technika 7 Szén nanocsövek, graphén, fullerén