C-V módszerek a mikroelektronikában, mikromechanikában és mikrofluidikában

Kapacitással jellemezhető rendszerek vizsgálatára alkalmas a kapacitás feszültségfüggésének vizsgálata. A félvezetők technológiájában elterjedten használatos C-V módszereket a BME EET az oktatásban és a kutatásban is alkalmazza.

A feladat a C-V módszerek elméletének megismerése, a "klasszikus" félvezetős alkalmazásokon túlmenő területekre (MEMS, mikrofluidika) való kiterjesztése.

A feladat diplomatervvé is fejleszthető.

A feladatra maximum 1 hallgató jelentkezését várjuk!