Számos félvezető technológiai gyártási folyamat vákuumban történik, így a megfelelő vákuum mérése elengedhetetlen a gyártástechnológiai folyamatok kontrolálásához. A félvezető technológiában alkalmazott mikrobaros van annál alacsonyabb nyomástartományokban a hagyományos mechanikus nyomásmérők nem alkalmazhatók, így speciális, elektromos mérési elven alapuló nyomásmérőket alkalmaznak, amelyekhez megfelelő kiolvasó áramkörök szükségesek.

A hallgató feladata:

• Megismerkedni a nagyvákuum méréséhez használt különböző vákuummérő típusokkal,
• A tervezett 10-100 mikrobaros nyomástartományhoz a megfelelő érzékelő kiválasztása,
• A kiválasztott érzékelőhöz tartozó kiolvasó áramkör megtervezése a vákuumérték megjelenítésével.

A hallgató a feladatát tanszéki berendezés-fejlesztési munkákba bekapcsolódva végzi, a tanszéki munkatársak felügyelete és segítsége mellett.